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硅單晶定向切割工序可包括哪些?

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硅單晶定向切割工序可包括哪些?

發布日期:2019-07-25 00:00 來源:http://www.itsinmyway.com 點擊:

硅單晶定向切割工序可包括對所述碳化硅晶錠進行加工定位邊,所述定位邊至少包括主定位邊。這樣可以利用所得的主定位作為基準來進行后續切割工序中的定位。

在所述切割工序中,以所述晶錠的主定位邊和圓周作為基準,將所述多個晶錠粘接在定型支架上,并將粘接有晶錠的定型支架粘接到定型刀架上,然后將所述定型刀架置于多線切割機中,進行切片。以主定位邊和圓周作為基準,可以使多個晶錠定型并固定在定型支架上,使各晶錠的端面高度平行,因而能保證各個晶錠的取向一致,切割出的晶片定向偏差小。

在相鄰的碳化硅晶錠的端面之間用粘結用膠粘接,使多個碳化硅晶錠以一字排列。

所述定型支架可包括具有臺階結構的上部和倒梯形下部,所述定型刀架可包括具有梯形槽的上部。由于定型支架的梯形下部與定型刀架的上部的梯形槽結合,因此便于定向固定于定型刀架上,在后續切割碳化硅晶錠時確保了切割方向的準確性。 定型支架的臺階結構可以從側面和底面固定晶錠,從而可以有效防止碳化硅晶錠的上下及左右偏移。

定型刀架的材質可為不銹鋼、模具鋼或陶瓷材料。

定型支架的材質可為玻璃或者陶瓷材料。

可采用粘結用膠將碳化硅晶錠固定于定型支架上,以及將定型支架上粘接到定型刀架上。

粘結用膠可為市售Q膠。其中,所述粘結用膠還可為在市售Q膠中摻入碳化硅粉形成的混合膠。采用混合了碳化硅的混合膠可提供粘結用膠的強度。一個優選的例子是,所述混合膠中采用的碳化硅粉的粒徑為10 500// ,摻入量為0. 5 5g/10mL。

在預處理工序中,對多個碳化硅晶錠的頂部和底部進行截斷處理并磨平,以使碳化硅晶錠的頂部和底部分別具有平整的表面。

具體地,在預處理工序中,對磨平后的端面進行定向,并修正端面至所需定向偏差內。

晶錠頭尾部的整形處理采用外圓磨床截斷,有效縮短了整形時間,且加工時外圓砂輪與晶錠屬于線接觸式加工,砂輪對晶錠沖擊較小,有效避免了晶錠在加工過程中的開裂現象。


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