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激光晶軸硅單晶定向的直接定向法??

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激光晶軸硅單晶定向的直接定向法??

發布日期:2019-08-21 00:00 來源:http://www.itsinmyway.com 點擊:

半導體硅單晶是具有一定晶向的,檢測它的方法很多,這里主要介紹硅單晶定向的激光晶軸定向法。

激光晶軸定向是在光點定向原理的基礎上發展起來的.所謂光點定向就是在腐蝕坑基礎上,用特制的光點反射儀來代替金相顯微鏡,可以較準確的從光學屏上反射出的圖形位置來確定晶體的晶向,而激光定向就是用激光晶軸定向儀代替金相顯微鏡。它是基于各個晶軸方向具有不同的對稱性,因而圍繞這些晶軸腐蝕坑或解理面也具有不同對稱分布的特征。??

當一束激光通過準直器從光屏中間的小孔中射出,并投射在被腐蝕或解理過的晶體端面上時,即產生若干束具有一定對稱分布的反射光,其反射光即按端面上的結晶學構造(腐蝕坑或解理面)在光屏上顯示出特征光圖,由此可判斷晶向。下面分別敘述金相腐蝕法和解理法在單晶端面上獲得結晶學構造與特征光圖的關系。


硅單晶定向,碳化硅定向

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